Системы подач осей X и Y оснащены линейными направляющими, которые характеризуются жесткостью при высоких нагрузках, скоростной динамической чувствительностью и низким коэффициентом трения (0,003~0,005). Приводы линейных направляющих и измерительных систем нижнего уровня осей X и Y защищены от пыли и стружки, установленными по углом, металлическими щитками.